外延爐一覽
? 筒式外延爐MT7700、MT7811K
? RF平板式外延爐
? 單片式外延爐
? LPE3061&LPE2061 外延爐
|
MT系列外延爐性能
|
單片式外延爐性能
|
RF平板式外延爐性能
|
? 良好的表面質量和無滑移線
? 爐內厚度均勻性±5%
? 爐內電阻均勻性±5%
? 過渡區窄
? 減壓外延
|
? 良好的厚度和電阻率均勻性
? 超強的加工能力
? 薄外延加工能力
? 8英寸外延片加工能力
|
? 高產出
? 過渡區窄
? 良好的厚度和電阻率均勻性
? 大尺寸和雙腔體設計
? 厚外延加工能力
|
|
外延設備一覽
|
|
|
|
Centura機臺
|
CSD
|
|
|
LPE 3061
|
ASM E2000
|
|
外延測試設備
-
公司具有一套完備先進的外延表征設備，以確保外延片的質量達到客戶的要求。
|
|
|
|
MCV530
|
SSM495Hg-Probe CV System
|
CDE 4-Point Probe
|
|
Surface scan SP1
|
QS2200M Accent FTIR
|
ADE 9300
|
|
SSM SRP 2000
|
Agilent ICP MS7500CS
|
OLYMPUS MX50
|
外延輔助設備
|
日產130噸的超純水系統。所產純水電阻率達18.2MΩ，顆粒度和TOC含量極低，達到 國內領先水平。
|
|
美國Verteq公司的清洗設備。結合了超稀化學溶液和先進的兆聲清洗技術，可高效 去除晶片表面的顆粒、痕量金屬和有
|
|
|
新傲科技采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和SSS四種工藝，利用先進設備來制備SOI材料，以確保圓片能夠達到國際半導體標準，并能夠滿足當今世界主流IC生產線的要求。 依靠強大而持續的技術支持，整合國產化襯底片良好的性價比以及強大而靈活的加工能力優勢，向客戶提供專業化的外延服務。
